2022年10月25日，中国上海——10月25日，中微半导体设备(上海)有限公司(以下简称中微公司MOCVD另一个里程碑受到设备系列的欢迎第500台MOCVD国内专业从事设备顺利运输LED研发和制造外延片和芯片。这个里程碑不仅仅是中微公司MOCVD充分证明了产品的卓越性能和服务的专业优势，也认可和肯定了公司持续创新的技术能力和稳步发展的综合实力。

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本批次运输的第500台MOCVD该设备于2021年6月由中微公司推出Prismo UniMax，主要用于氮化镓基Mini LED大规模生产外延片。近年来，随着光电产业的快速发展，Mini LED广泛应用于电视、笔记本电脑、平板电脑、桌面显示、车载显示、户外显示等终端产品。

自推出以来， Prismo UniMax MOCVD该设备以其优异的波长均匀性、高能效、高产能等优点迅速得到了市场的认可，团队专业及时的现场支持和详细规范的技术服务也受到了客户的青睐。专为高性能Mini LED量产设计MOCVD设备，Prismo UniMax具有产能高、灵活性高的特点，同一系统可配备多达4个反应腔，每个反应腔可实现独立控制。Prismo UniMax配置了785mm通过石墨托盘的不同设计配置，大直径石墨托盘最多可加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，有效提高产能，降低生产成本。此外，Prismo UniMax创新的多区辅助加热调节系统可以准确控制托盘局部区域的温度，有助于更大程度地提高LED波长均匀性。

中微公司MOCVD设备Prismo UniMax

目前，中微公司开发了一系列MOCVD行业内主要设备LED量产已全面投入生产线。Prismo UniMax是MOCVD该产品系列还包括新一代设备系列产品Prismo D-BLUE、Prismo A7、Prismo HiT3和Prismo PD5。2013年，中微公司率先发布国内自主研发制造的量产型MOCVD设备Prismo D-BLUE。此后，中微公司于2017年、2020年、2021年、2022年相继推出Prismo A7、Prismo HiT3、Prismo UniMax和Prismo PD5产品。

这个里程碑是中微公司在未来取得的又一个重要突破MOCVD进一步发展产品市场奠定了坚实的基础。中微公司副总裁兼MOCVD产品事业部总经理郭世平说:我们为中微公司开发的一系列系列系列感到非常自豪。MOCVD该设备得到了客户和市场的广泛认可，部分产品在细分领域的市场份额居世界第一。未来，随着新应用的进一步扩大，我们将继续促进与客户的密切合作和沟通，通过技术领域的不断创新，不断为客户提供有竞争力的产品和解决方案，实现稳定发展和深度双赢，共同为行业创造更美好的明天。”